9.국내유일 진공로봇개발 라온테크

 

 

 

 

 

●국내유일 진공로봇개발 라온테크

 

 

 

 

 

 

로봇(Robot)과 자동화 시스템(FA)을 개발 공급하고 있는 회사이다. 반도체 실리콘 웨이퍼에 직접회로를 물리.화학적으로 가공하기위한 청정 제조 라인에서 Wafer를 이송하는 반도체 로봇 및 자동화 모듈이 주요 사업이다. LCD와 OLED 제조라인에서 Glass를 이송하는 FPD 로봇 및 자동화.제약 및 바이오 제조라인에서 사용되는 제조업용 로봇 및 자동화 시스템을 영위하고 있다. 국내 몇 회사가 반도체 웨이퍼 이송 자동화 진공로봇의 국산화 개발을 시도하였으나 시장 진입 장벽과 기술장벽을 넘지 못하였고다.라온테크가 유일하게 웨이퍼진공로봇을 개발하여 양산 적용중이다.2025년 1월2일 삼성전자가 휴머노이드로봇 등 관련 사업을 강화한다고 밝히면서 라온테크가 주목을 받고 있다.라온테크는 삼성전자를 고객사로둔 반도체 로봇 자동화 기업으로 국내에선 유일하게 대기와 진공 등 각 상태에 맞춘 웨이퍼 이송 로봇 업체다.삼성전자의 무인화.고도화 제조라인의 수혜주 로 부각하고 있다. 레인보우로보틱스가 삼성전자 자회사로 편입된 가운데 로봇 산업이 올해 본격화될 것이라는 기대감이 작용한 것으로 풀이된다.이와 함께 국내에서 유일하게 대기와 진공 등 각 상태에 맞춘 ‘웨이퍼 이송 로봇업체’인 라온테크가 주목받고 있다.실제 라온테크는 삼성전자는 물론 현재 SK하이닉스.인텔 등 국내외 굴지의 기업들을 고객사로 두고 있다.라온테크 주요 제품은  반도체 로봇 및 자동화 플랫폼.디스플레이 플랫폼. 제약·바이오 유상CS’등으로 구분된다. 반도체 로봇 및 자동화 플랫폼은 반도체 제조라인에서 웨이퍼(Wafer)를 이송하는 EFEM(Equipment FrontEnd Module)과 진공 환경에서 웨이퍼를 이송하는 백본(Backbone)전체를 포함한다. 실제 네 개의 개별 제어식 팔이 달린(Individual Controlled 4 Arm) 진공로봇은 동사를 포함해 전 세계적으로 3개 기업만 생산할 수 있다.반도체 산업은 시장과 기술의 진입 장벽이 모두 높은 특성을 지닌 분야인 만큼 유사기술을 답습하는 카피 수준은 고객 외면을 당할수 밖에 없다.고객 마음을 움직이고 고민을 해결할때까지 거듭된 실패를 견뎌내며 혁신적인 제품을 계속 개발해야 한다.라온테크 주력 사업인 진공 로봇과 진공 이송 모듈은 산화.식각.박막.금속 배선 등 반도체 제조 공정에서 정밀도·생산성을 좌우하는 핵심 장비다. 기존 경쟁 기업 대비 성능을 훌쩍 뛰어넘어야만 비로서 시장 진입이 가능하다. 또, 온도 200~700℃, 진공도 10-5torr에서 파티클없이 24시간 작동하는 악조건의 진공 공정 환경을 견뎌야 한다. 고온·고진공 내구성과 고도의 진동 제어 기술을 필요로 한다.라온테크의 기술 혁신 노력은 라온테크를 글로벌 반도체 장비 시장에서  진공 로봇 제조 대열에 올려 놓았다. 국내에선 라온테크가 유일하다. 글로벌 경쟁기업은 미국 브룩스 .일본 알박 등이 있다.라온테크의 개별제어 4암(Individual Controlled 4 Arm) 진공로봇은 글로벌 시장에서 혁신 제품으로 손꼽힌다. 개별 제어 4암 진공로봇은 웨이퍼 처리 생산성을 높이기 위해 웨이퍼를 한 장씩 교체하던 기존 타입에서 웨이퍼를 두 장씩 좌·우로 정밀하게 개별 제어하는 방식이다.

 

 

 

 

 

 

 

 

라온테크의 진공 로봇은 경쟁사 대비 벨트를 사용하지 않는 병렬 링크 암 구조로 고온에서 장시간 사용해도 진동과 파티클이 생기지 않고 웨이퍼 이송 위치를 동일하게 재현할 수 있다.진공로봇의 개별 제어 기술 혁신 우위를 고객이 인정하고 평가받고 있다.라온테크는 현재  혁신에 혁신을 더하는 새로운 콘셉트 제품'을 개발하고 있다. 반도체 진공로봇과 진공 이송모듈 분야에서 글로벌 경쟁 기업과의 혁신 기술 격차를 더욱 벌일뿐 아니라 램리서치·어플라이드머티어리얼 등 글로벌 장비 기업 영역으로 확장하기 위해서다.현재 라온테크는 차세대 진공 로봇 양산을 위해 다이렉트 드라이브 서브 모터(이하 DD모터)와 리니어 이송 모듈 플랫폼을 개발중이다. 우선 회사가 개발 중인 DD모터는 감속기·자성유체씰 등 부품을 사용하지 않고 동력을 직접 전달해 작동하는 부품으로 성능 향상.공간 최소화.유지보수 경감 등 장점이 있다. 특히, 라온테크는 개별 제어 방식의 진공로봇에 DD모터를 연계하는 혁신 제품을 선도적으로 개발. 글로벌 반도체 제조·장비 기업의 정곡을 파고드는 강력한 무기로 삼을 계획이다.또한, 반도체 공정이 고도로 발전하면서 공정 챔버를 기존 4~6개에서 최대 12개까지 대응하는 리니어 이송 모듈 플랫폼을 개발하고 있다. 현재 이송 모듈이 6개 챔버에 대응할 수 있다는 점을 고려하면 생산성을 2배 높일 수 있다. 작은 풋 프린터로도 다수 진공 챔버 대응이 가능한 리니어 이송 모듈 수요가 증가하고 있어 라온테크는 지속적인 제품 개발을 통해 기술 혁신을 하고 있다.라온테크는 반도체 진공 로봇 이외 제약·바이오 로봇를 신성장 사업으로 보고 있다. 회사는 현재 점안제·앰플 등 검사 장비를 공급중에 있다. 향후 이물질 검사 장비 분야에 투자를 좀 더 진행해 독일·스위스 등 글로벌 기업이 선점한 제약·바이오 장비 시장에서도 품질 경쟁력을 갖출 계획이다. 최근에는  중국 최대 장비사를 고객사로 맞이하기도 했다. 중국은 미국의 반도체 대중수출 규제에 맞서 반도체 자립화에 힘을 쓰고 있는 상황에 딥시크의 여파로 이는 더욱 가속될 것이라 업계는 보고 있다. 중국 최대 장비업체인 나우라는 라온테크에 에처 장비 분야의 차세대 장비 전부를  라온테크 것을 쓰겠다고 밝힌 것으로 알려졌다.딥시크(DeepSeek)의 탄생으로 중국의 AI 반도체 개발이 가속화할 전망이다.중국 정부는 반도체 자급률을 높이기 위해 AI 칩 개발을 우선순위에 두고 자국 반도체 산업 지원을 강화해 왔었다. 중국 빅테크 기업들은 이에 부응하기 위해 자체AI 칩 개발에 전사적 역량을 집중했다.이같은 와중에 딥시크가 등장해 전세계를 긴장케 하고 있다. 더 나아가 딥시크의 량원펑 CEO가최근 리창 중국 총리를 만나 중국 내 반도체 산업의 자립화가 시급하다고 강조하며 중국의 반도체 자립화 및 투자는 더욱 가속화 될 전망이다.한편 라온테크는 도체 제조라인 내 웨이퍼를 이송하는 진공 로봇의 국산화에 성공한 유일한 업체다. 라온테크는 최근 중국 1위와 5위 장비업체 그리고 신생업체 등과 거래를 성사시켰다. 1위 업체는 나우라이고 5위 업체는 베스트라는 회사다.특히 라온테크에 따르면 나우라는 에처(etcher) 장비 분야에서 차세대 장비로는 전부 라온테크 것을 쓰겠다고 밝혀 회사는 이에 대해 상당히 고무된 상황이다. 또한 다른 고객사에서는 향후 개발하는 모든 플랫폼에 저희 로봇을 적용하겠다고 결정한 상태다.딥시크의 등장으로 중국 내 반도체 투자 및 성장이 속도가 붙으면서 라온테크에 대한 수요 또한 늘어날 거란 전망에 투자자들의 매수세가 몰린 것으로 풀이된다.

 

 

 

 

 

 

 

 

<웨이퍼(Wafer)를 이송하는 EFEM장비 >